高純度薬液の精密分析

精密分析では高純度薬液（過酸化水素水、アンモニア水、塩酸、フッ酸、硝酸、硫酸、リン酸、IPA）及び超純水に含まれる極微量成分を高感度で分析致します。
また、ご要望に応じて、お客様の生産設備からのサンプリング作業も承っております。

主要分析装置

• ICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析装置）
• GFAA（グラファイト炉原子吸光分析装置）
• Ion chromatograph（イオンクロマトグラフ）
• Laser particle counter（レーザーパーティクルカウンター）
• SEM（走査型電子顕微鏡）

 

電子工業用流体機器／パーツ類の評価・精密洗浄

超高純度過酸化水素水の製造で培ったノウハウを基にポンプ・バルブ・フィルター・配管・計装機器などの精密洗浄及び評価を承っております。

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